PREHEATED CW LASER ANNEALED TRANSISTORS IN SILICON ON SAPPHIRE

被引：2

作者：

HOLMEN, G

PETERSTROM, S

ALESTIG, G

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.95382

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：741 / 743

页数：3

共 5 条

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