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YIN GZ, 1987, SOLID STATE TECH MAY
VARIABLE PROFILE CONTACT ETCHING USING BILAYER PLANARIZED PHOTORESIST
被引：2
作者：
JILLIE, D
FREIBERGER, P
BLAISDELL, T
MULTANI, J
机构：
关键词：
D O I：
10.1149/1.2100804
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
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页码：1988 / 1993
页数：6
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