BEVELING ALUMINUM IN MULTILAYER METAL CIRCUITRY

被引：4

作者：

AGATSUMA, T ^{[1
]}

KIKUCHI, A ^{[1
]}

NAKADA, K ^{[1
]}

TOMOZAWA, A ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD,SEMICOND & INTEGRATED CIRCUITS DIV,KODAIRA,TOKYO,JAPAN

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1975年 / 122卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2134332

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：825 / 829

页数：5

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共 11 条

[11] TOLLIVER DL, 1971, SOLID STATE TECHNOL, V14, P32