DIAMOND ABRASION PROPERTIES OF PLASMA-DEPOSITED SILICON-OXIDE FILMS

被引：3

作者：

KAGANOWICZ, G

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0043-1648(86)90198-5

中图分类号：

TH [机械、仪表工业];

学科分类号：

0802 ;

摘要：

引用

页码：29 / 37

页数：9

共 7 条

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