MECHANISM OF GRAPHITE BAFFLE GETTERING IN ORGANOMETALLIC VAPOR-PHASE EPITAXY - ADSORPTION OF TRIMETHYLALUMINUM ON GRAPHITE

被引：9

作者：

KISKER, DW ^{[1
]}

STEVENSON, DA ^{[1
]}

机构：

[1] STANFORD UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,STANFORD,CA 94305

来源：

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS | 1983年 / 12卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1007/BF02651143

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：459 / 482

页数：24

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共 14 条

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