ELLIPSOMETRIC INVESTIGATION OF CORROSION OF DEPOSITED THIN MOLYBDENUM FILM

被引:10
作者
OIKAWA, H [1 ]
机构
[1] NIPPON TELEGRAPH & TEL PUBL CORP,ELECT COMMUN LAB,TOKYO,JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.14.629
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:629 / 635
页数:7
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