A JET ETCHING PREPARTION TECHNIQUE FOR TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE EXAMINATION OF SURFACE LAYERS ON SILICON

被引：6

作者：

KEAST, DJ

WILSON, AD

机构：

来源：

JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1966年 / 43卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1088/0950-7671/43/8/444

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

收藏

页码：609 / &

相关论文

共 2 条

[1] METHOD OF PREPARING SI AND GE SPECIMENS FOR EXAMINATION BY TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY [J].

BOOKER, GR ;

STICKLER, R .

BRITISH JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1962, 13 (09) :446-&

[2]

STICKLER R, 1964, J ELECTROCHEM TECHNO, V2, P298