MICRO ION-BEAMS FOR FABRICATION

被引：2

作者：

AHMED, H

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(84)90104-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：1

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共 3 条

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