SURFACE PROFILE MEASUREMENTS - SURVEY OF APPLICATIONS IN AREA OF VACUUM DEPOSITION

被引：9

作者：

BREITWEI.G ^{[1
]}

机构：

[1] SLOAN TECHNOL CORP, SANTA BARBARA, CA 93102 USA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318536

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：101 / 105

页数：5