TRISDIMETHYLAMINOARSINE AS AS SOURCE FOR THE LP-MOVPE OF GAAS

被引：30

作者：

ZIMMER, MH ^{[1
]}

HOVEL, R ^{[1
]}

BRYSCH, W ^{[1
]}

BRAUERS, A ^{[1
]}

BALK, P ^{[1
]}

机构：

[1] RHEIN WESTFAL TH AACHEN,INST SEMICOND ELECTR,W-5100 AACHEN,GERMANY

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(91)90482-K

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：348 / 349

页数：2