THE USE OF ORGANIC AS PRECURSORS IN THE LOW-PRESSURE MOCVD OF GAAS

被引:70
作者
BRAUERS, A [1 ]
KAYSER, O [1 ]
KALL, R [1 ]
HEINECKE, H [1 ]
BALK, P [1 ]
HOFMANN, H [1 ]
机构
[1] PREUSSAG PURE MET GMBH,D-3394 LANGELSHEIM,FED REP GER
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(88)90498-8
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
引用
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