SOME PROPERTIES OF STRUCTURE OF SI-SIO2 INTERFACE

被引：5

作者：

LITOVCHENKO, VG ^{[1
]}

MARCHENKO, RI ^{[1
]}

ROMANOVA, GP ^{[1
]}

VASILEVSKAYA, VN ^{[1
]}

机构：

[1] ACAD SCI UKSSR,INST SEMICOND,KIEV,UKSSR

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(77)90436-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：295 / 303

页数：9

共 27 条

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