ELLIPSOMETRIC DATA-PROCESSING - AN EFFICIENT METHOD AND AN ANALYSIS OF THE RELATIVE ERRORS

被引：35

作者：

CHARLOT, D

MARUANI, A

机构：

来源：

APPLIED OPTICS | 1985年 / 24卷 / 20期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.24.003368

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：3368 / 3373

页数：6

共 4 条

[1]

AZZAM RMA, 1977, ELLIPSOMETRY POLARIZ, pCH4

PEDINOFF, ME ;

STAFSUDD, OM .

APPLIED OPTICS, 1982, 21 (03) :518-521

REINBERG, AR .

APPLIED OPTICS, 1972, 11 (05) :1273-&

YORIUME, Y .