MEASUREMENT OF SMALL DIFFUSION-COEFFICIENTS USING ION-BEAM-SPUTTERING AS A MICROSECTIONING TECHNIQUE

被引:26
作者
MEHRER, H [1 ]
MAIER, K [1 ]
HETTICH, G [1 ]
MAYER, HJ [1 ]
REIN, G [1 ]
机构
[1] MAX PLANCK INST MET RES,INST PHYS,STUTTGART,FED REP GER
关键词
D O I
10.1016/0022-3115(78)90269-6
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:545 / 548
页数:4
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