SIZE EFFECT OF PARALLEL SILICIDE CONTACT

被引：36

作者：

OHDOMARI, I

AOCHI, H

机构：

来源：

PHYSICAL REVIEW B | 1987年 / 35卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1103/PhysRevB.35.682

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：682 / 686

页数：5

共 5 条

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