MEASUREMENT AND REDUCTION OF WATER-VAPOR CONTENT IN ASH3 AND PH3 SOURCE GASES USED IN EPITAXY

被引：7

作者：

FRAAS, LM

CAPE, JA

MCLEOD, PS

PARTAIN, LD

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1985年 / 3卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583083

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：921 / 922

页数：2

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共 3 条

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