BEAM-PLASMA TYPE METAL-ION SOURCE

被引：6

作者：

ISHIKAWA, J

TAKAGI, T

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1983年 / 22卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.22.534

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：534 / 540

页数：7

共 13 条

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