STUDY OF AL WITH A COMBINED AUGER-ELECTRON SPECTROMETER-ELLIPSOMETER SYSTEM

被引：20

作者：

ALLEN, TH ^{[1
]}

机构：

[1] MCDONNELL DOUGLAS CORP,ST LOUIS,MO 63166

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568874

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：112 / 115

页数：4

共 14 条

[1]

ARCHER RJ, 1968, ELLIPSOMETRY, P1

[2]

BRILL R, 1967, SOLID STATE PHYS, V20, P15

[3] AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY [J].

CHANG, CC .

[4] MONOLAYER ADSORPTION OF OXYGEN ON ALUMINIUM [J].

DOREY, G .

FANE, RW ;

NEAL, WEJ .

[6]

HASS G, 1946, OPTIK, V1, P2

[7]

Hass G., 1961, J OPT SOC AM, V51, P7

[8]

HEAVENS OS, 1965, OPTICAL PROPERTIES T, P200

[9]

MCCRACKIN FL, 1969, NBS479 US TECH NOT

[10] QUANTITATIVE ASPECTS OF AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY [J].

MEYER, F ;

VRAKKING, JJ .