DEVELOPMENTS IN IONIZATION ASSISTED PROCESSES

被引:59
作者
MATTHEWS, A
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.572881
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:2354 / 2363
页数:10
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