TIN DIOXIDE FILMS PREPARED BY DC SPUTTERING FROM A PRESSED POWDER TARGET

被引：19

作者：

SABNIS, AG ^{[1
]}

FEISEL, LD ^{[1
]}

机构：

[1] S DAKOTA SCH MINES & TECHNOL,DEPT ELECT ENGN,RAPID CITY,SD 57701

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569183

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：685 / 689

页数：5

共 23 条

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