KINETICS OF LASER-INDUCED LIQUID-METAL ETCHING OF A-SI FILMS

被引：2

作者：

BOSTANJOGLO, O

ENDRUSCHAT, E

TORNOW, W

机构：

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1985年 / 90卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210900207

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：457 / 462

页数：6

共 7 条

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