EPITAXIAL-GROWTH OF BP COMPOUNDS ON SI SUBSTRATES USING B2H6-PH3-H2 SYSTEM

被引：55

作者：

SHOHNO, K ^{[1
]}

TAKIGAWA, M ^{[1
]}

NAKADA, T ^{[1
]}

机构：

[1] SOPHIA UNIV,DEPT ELECTR,CHIYODA,TOKYO,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(74)90303-0

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：193 / 196

页数：4

共 7 条

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