A REVIEW OF INSTRUMENTATION USED TO GENERATE MICROWAVE-INDUCED PLASMAS

被引:31
作者
GOODE, SR
BAUGHMAN, KW
机构
关键词
D O I
10.1366/0003702844554792
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页数:9
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