PERFORMANCE-CHARACTERISTICS OF THE EXTRION 160-10 ION-IMPLANTATION SYSTEM

被引：12

作者：

LIEBERT, R

PEDERSEN, B

EHRLICH, C

CALLAHAN, W

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1985年 / 6卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(85)90604-4

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

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页数：11

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共 4 条

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