THIN-FILMS OF RARE-EARTH-METAL SILICIDES IN MICROELECTRONICS

被引:11
作者
KOLESHKO, VM
BELITSKY, VF
KHODIN, AA
机构
关键词
D O I
10.1016/0042-207X(86)90337-4
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页数:8
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