RAPID-DETERMINATION OF APPARENT ACTIVATION-ENERGIES IN CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：25

作者：

LEYENDECKER, G ^{[1
]}

NOLL, H ^{[1
]}

BAUERLE, D ^{[1
]}

GEITTNER, P ^{[1
]}

LYDTIN, H ^{[1
]}

机构：

[1] PHILIPS GMBH,FORSCHUNGSLAB,D-5100 AACHEN,FED REP GER

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2119645

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：157 / 160

页数：4

共 8 条

BARANAUSKAS, V ;

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