ELLIPSOMETRIC EXAMINATION OF THE OXIDATION OF VACUUM-DEPOSITED BISMUTH-FILMS

被引：12

作者：

ATKINSON, R ^{[1
]}

CURRAN, E ^{[1
]}

机构：

[1] NATL ELECT ENGN RES INST,COUNCIL SCI & IND RES,PRETORIA 0001,SOUTH AFRICA

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(85)90083-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：7