HIGH-PRECISION INTERFEROMETRIC ALIGNMENT USING CHECKER GRATING

被引:5
作者
TABATA, M
TOJO, T
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.584661
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:1980 / 1983
页数:4
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共 3 条
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