AUTOMATED-SYSTEM FOR CONTROLLED STRIPPING OF THIN SILICON LAYERS

被引：8

作者：

GALLONI, R

GAVINA, G

LOTTI, R

PIOMBINI, A

机构：

来源：

REVUE DE PHYSIQUE APPLIQUEE | 1978年 / 13卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1051/rphysap:0197800130208100

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：81 / 84

页数：4

共 6 条

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