CURRENT-PRESSURE TRANSITIONS IN A MAGNETICALLY SUPPORTED DC SPUTTERING SYSTEM

被引：7

作者：

GREEN, FA ^{[1
]}

CHAPMAN, BN ^{[1
]}

机构：

[1] IMPERIAL COLL,DEPT ELECT ENGN,MAT SECT,LONDON SW7 2BT,ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.88423

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：189 / 190

页数：2

共 9 条

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