TECHNIQUE FOR GROWTH OF SINGLE-CRYSTAL FILMS OF ZINC-SULFIDE ON (100) GALLIUM-ARSENIDE BY RADIO-FREQUENCY SPUTTERING

被引:16
作者
JONES, PL [1 ]
MOORE, D [1 ]
SMITH, DC [1 ]
机构
[1] UNIV MANCHESTER,ELECT ENGN LABS,MANCHESTER M13 9PL,ENGLAND
来源
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1976年 / 9卷 / 04期
关键词
D O I
10.1088/0022-3735/9/4/022
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页码:312 / 316
页数:5
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