STROBOSCOPIC TESTING OF LSIS WITH LOW-VOLTAGE SCANNING ELECTRON-MICROSCOPE

被引：10

作者：

TODOKORO, H

YONEDA, S

YAMAGUCHI, K

FUKUHARA, S

KOMODA, T

机构：

来源：

JOURNAL OF MICROSCOPY-OXFORD | 1985年 / 140卷

关键词：

D O I：

10.1111/j.1365-2818.1985.tb02685.x

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：313 / 322

页数：10

共 8 条

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