FABRICATION OF ULTRA-SHORT GATE MESFETS AND BLOCHFETS BY ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY

被引：27

作者：

BERNSTEIN, G

FERRY, DK

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0749-6036(86)90050-9

中图分类号：

O469 [凝聚态物理学];

学科分类号：

070205 ;

摘要：

引用

页码：373 / 376

页数：4

共 6 条

[1]

BERNSTEIN G, SUPERLATTICES MICROS

[2] COMMENTS ON THE EXISTENCE OF BLOCH OSCILLATIONS [J].

CHURCHILL, JN ;

HOLMSTROM, FE .

[3]

CURTICE WR, COMMUNICATION

[4] VERY SHORT GATE-LENGTH GAAS-MESFETS [J].

PATRICK, W ;

MACKIE, WS ;

BEAUMONT, SP ;

WILKINSON, CDW ;

OXLEY, CH .

[5] TRANSPORT IN LATERAL SURFACE SUPER-LATTICES [J].

REICH, RK ;

GRONDIN, RO ;

FERRY, DK .

PHYSICAL REVIEW B, 1983, 27 (06) :3483-3493

[6]

REICH RK, 1982, ELECTRON DEVIC LETT, V3, P381, DOI 10.1109/EDL.1982.25607