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COMPUTER-SIMULATION OF THIN AMORPHOUS SI FILMS ON CRYSTALLINE SI SUBSTRATES
被引：12
作者：
ERKOC, S
[1
]
HALICIOGLU, T
[1
]
TILLER, WA
[1
]
机构：
[1] STANFORD UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,STANFORD,CA 94305
关键词：
D O I：
10.1016/S0022-3093(87)80257-0
中图分类号：
TQ174 [陶瓷工业];
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
摘要：
引用
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页数：8
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