VISIBLE-LASER REPAIR OF CLEAR DEFECTS IN PHOTOMASKS

被引：10

作者：

OPRYSKO, MM

BERANEK, MW

YOUNG, PL

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1985.26149

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：344 / 346

页数：3

相关论文

共 5 条

[1]

ANGEL D, 1980, SEMICONDUCTOR IN MAR, P59

[2]

BERTRAM WJ, 1983, VLSI TECHNOLOGY

EHRLICH, DJ ;

OSGOOD, RM ;

SILVERSMITH, DJ ;

DEUTSCH, TF .

ELECTRON DEVICE LETTERS, 1980, 1 (06) :101-103

[4]

SINGER PH, 1982, SEMICONDUCTOR IN SEP, P79

[5]

SINGER PH, 1985, SEMICONDUCTOR IN APR, P66