OPTICAL HETERODYNE PROFILOMETER

被引：55

作者：

HUANG, CC

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1117/12.7973302

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：365 / 370

页数：6

共 4 条

[1] SCATTERING CHARACTERISTICS OF OPTICAL-MATERIALS [J].

BENNETT, HE .

BENNETT, JM ;

DANCY, JH .

APPLIED OPTICS, 1981, 20 (10) :1785-1802

HARD, S ;

NILSSON, O .

APPLIED OPTICS, 1978, 17 (23) :3827-3836

[4] OPTICAL HETERODYNE PROFILOMETRY [J].

SOMMARGREN, GE .

APPLIED OPTICS, 1981, 20 (04) :610-618