OPTICAL HETERODYNE PROFILOMETRY

被引:210
作者
SOMMARGREN, GE
机构
来源
APPLIED OPTICS | 1981年 / 20卷 / 04期
关键词
D O I
10.1364/AO.20.000610
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
收藏
页码:610 / 618
页数:9
相关论文
共 11 条