RF MAGNETRON SPUTTERING OF ALPHA-SI-H

被引：9

作者：

MIRZA, AR ^{[1
]}

RHODES, AJ ^{[1
]}

ALLISON, J ^{[1
]}

THOMPSON, MJ ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV SHEFFIELD,DEPT PHYS,SHEFFIELD S10 2TN,S YORKSHIRE,ENGLAND

来源：

JOURNAL DE PHYSIQUE | 1981年 / 42卷 / NC4期

关键词：

D O I：

10.1051/jphyscol:19814145

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：659 / 662

页数：4