RAPID NONDESTRUCTIVE THICKNESS MEASUREMENT OF OPAQUE THIN-FILMS ON ANISOTROPIC SUBSTRATES

被引：8

作者：

CREAN, GM ^{[1
]}

WAINTAL, A ^{[1
]}

机构：

[1] LAB LOUIS NEEL,F-38042 GRENOBLE,FRANCE

来源：

关键词：

D O I：

10.1049/el:19860036

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：53 / 54

页数：2

共 8 条

[1]

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