CHARACTERIZATION OF SPUTTERED LINBO3 FILMS FOR INTEGRATED-OPTICS APPLICATIONS

被引：14

作者：

GRIFFEL, G

RUSCHIN, S

HARDY, A

ITZKOVITZ, M

CROITORU, N

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1985年 / 126卷 / 3-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(85)90309-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：185 / 189

页数：5

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共 5 条

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