SPUTTERED THIN-FILMS FOR INTEGRATED OPTICS

被引:27
作者
DEITCH, RH [1 ]
WEST, EJ [1 ]
GIALLORENZI, TG [1 ]
WELLER, JF [1 ]
机构
[1] USN, RES LAB, WASHINGTON, DC 20375 USA
关键词
D O I
10.1364/AO.13.000712
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
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页码:712 / 715
页数:4
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