GROWTH OF DIAMOND THIN-FILMS BY DC PLASMA CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:232
作者
SUZUKI, K [1 ]
SAWABE, A [1 ]
YASUDA, H [1 ]
INUZUKA, T [1 ]
机构
[1] AOYAMA GAKUIN UNIV,SETAGAYA KU,TOKYO 157,JAPAN
关键词
D O I
10.1063/1.98080
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:728 / 729
页数:2
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