STRENGTHENING OF AL2O3 BY ION-IMPLANTATION

被引：37

作者：

HIOKI, T

ITOH, A

NODA, S

DOI, H

KAWAMOTO, J

KAMIGAITO, O

机构：

[1] Toyota Central Research &, Development Lab Inc, Aichi, Jpn, Toyota Central Research & Development Lab Inc, Aichi, Jpn

来源：

关键词：

D O I：

10.1007/BF00719777

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：1099 / 1101

页数：3

共 8 条

EERNISSE, EP ;

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