PREPARATION OF A-SI-H/A-SI1-XCX-H SUPERLATTICES

被引:3
作者
NISHIKAWA, S
KAKINUMA, H
WATANABE, T
NIHEI, K
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1986年 / 25卷 / 08期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.25.1141
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1141 / 1143
页数:3
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