A NOVEL SAMPLE PREPARATION TECHNIQUE FOR CROSS-SECTIONAL TEM INVESTIGATION OF INTEGRATED-CIRCUITS

被引：12

作者：

VANHELLEMONT, J

BENDER, H

CLAEYS, C

VANLANDUYT, J

DECLERCK, G

AMELINCKX, S

VANOVERSTRAETEN, R

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0304-3991(83)90010-4

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：303 / 305

页数：3

共 6 条

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VANHELLEMONT J, 1983, UNPUB I PHYS C SER