AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY ANALYSIS OF THE CONTACT REACTION OF PT-SI CODEPOSITED FILMS AND SILICON

被引：5

作者：

EIZENBERG, M ^{[1
]}

BRENER, R ^{[1
]}

机构：

[1] TECHNION ISRAEL INST TECHNOL,INST SOLID STATE,IL-32000 HAIFA,ISRAEL

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(82)90348-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：41 / 48

页数：8

共 13 条

OURA, K ;

OKADA, S ;

HANAWA, T .

ROTH, JA ;

CROWELL, CR .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1978, 15 (04) :1317-1324

[13] SHALLOW SILICIDE CONTACT [J].

TU, KN ;

HAMMER, WN ;

OLOWOLAFE, JO .