EFFECT OF HYDROGEN CONTENT ON THE PROPERTIES OF REACTIVELY SPUTTERED AMORPHOUS SI-H

被引：19

作者：

JEFFREY, FR

SHANKS, HR

DANIELSON, GC

机构：

来源：

JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS | 1980年 / 35-6卷 / JAN-期

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(80)90604-3

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：261 / 266

页数：6

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共 3 条

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JEFFREY FR, UNPUBLISHED