HISTORICAL-PERSPECTIVE AND FUTURE-TRENDS FOR ION-IMPLANTATION SYSTEMS

被引：15

作者：

WEGMANN, L

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1981年 / 189卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(81)90122-1

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页数：6

共 7 条

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