CORRELATION OF OXYGEN CONCENTRATION AND ACTIVATED OXYGEN DONORS IN SILICON-CRYSTALS ON A MICROSCALE

被引：18

作者：

RAVA, P

GATOS, HC

LAGOWSKI, J

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1981年 / 38卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1063/1.92304

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：274 / 276

页数：3

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[11]

TAKANO Y, 1973, SEMICONDUCTOR SILICO, P469

[12] ELECTRON-MOBILITY AND FREE-CARRIER ABSORPTION IN INP - DETERMINATION OF THE COMPENSATION RATIO [J].

WALUKIEWICZ, W ;

LAGOWSKI, J ;

JASTRZEBSKI, L ;

RAVA, P ;

LICHTENSTEIGER, M ;

GATOS, CH ;

GATOS, HC .

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1980, 51 (05) :2659-2668

[13]

F12176 ASTM STAND