THERMAL REMOVAL OF SURFACE CARBON FROM GAAS SUBSTRATE USED IN MOLECULAR-BEAM EPITAXY

被引:9
作者
CHANG, CA
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 21卷 / 02期
关键词
CARBON; -; ETCHING;
D O I
10.1116/1.571809
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:3
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